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| Deposition and etching of HMDSO/SF6 plasma polymerized thin films. | 222 |
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| Deposition and etching of HMDSO/SF6 plasma polymerized thin films. | 9 | 13 | 29 | 23 | 13 | 14 | 6 |
Arquivos Baixados
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Países com Maior Acesso
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| Estados Unidos | 81 |
| Brasil | 26 |
| Alemanha | 24 |
| Rússia | 14 |
| China | 12 |
| Ucrânia | 7 |
| Vietnã | 7 |
| Argentina | 3 |
| Bélgica | 3 |
| Argélia | 3 |
Cidades com Maior Acesso
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| San Mateo | 10 |
| Menlo Park | 8 |
| Jacksonville | 5 |
| Hanoi | 4 |
| Cantagalo | 3 |
| Caracas | 3 |
| Des Moines | 3 |
| Kiev | 3 |
| Goiânia | 2 |
| Ho Chi Minh City | 2 |