Caracterização de plasmas através da espectrometria de massa

Abstract

Mass spectrometry is a diagnosis that can aid in the understanding of the kinetics of chemical plasma environment. Through this you can get information about some species present in the environment and make inferences about the behavior of the plasma when parameters such as pressure and applied power changes. When analyzed plasmas generated by the discharge of argon and diglyme (both individually and mixtures of them in various proportions) could be found conditions in which the plasma behavior was different from what is often found in the literature. By the end some peculiar characteristics of plasmas generated by mixing argon / diglyme were raised and it was found that the noble gas is a good mediator of physical and chemical reactions that occur in the environment, and help in the understanding of chemical kinetics. Therefore mass spectrometry was shown highly important tool for the study of plasma environment

A espectrometria de massa é um diagnóstico que pode auxiliar na compreensão da cinética química do meio plasma. Através desta pode-se levantar informações sobre algumas espécies presentes no meio e fazer inferências sobre o comportamento do plasma quando parâmetros como pressão e potência aplicada são alterados. Quando analisados os plasmas gerados através de descargas de argônio e diglime (tanto individualmente quanto de suas misturas em diferentes proporções) puderam ser encontradas condições em que o comportamento do plasma se mostrou diferente do que frequentemente é encontrado na literatura. Por final algumas características peculiares de plasmas gerados através da mistura argônio/diglime foram levantadas e foi constatado que o gás nobre é um bom mediador das reações físico-químicas que ocorrem no meio, além de auxiliar na compreensão da cinética química. Desta forma a espectrometria de massa se mostrou uma ferramenta de alta importância para o estudo do meio plasma